MOCVD反应器

感应加热金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器是一项旨在提高加热效率并减少与气体入口的有害磁耦合的技术。传统的感应加热 MOCVD 反应器通常将感应线圈放置在腔室外部，这可能会导致加热效率较低，并对气体输送系统产生潜在的磁干扰。最近的 … 查看更多